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中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司(原北京有色金屬研究總院,簡(jiǎn)稱中國(guó)有研)成立于1952年,是中國(guó)有色金屬行業(yè)綜合實(shí)力雄厚的研究開(kāi)發(fā)和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)培育機(jī)構(gòu),是國(guó)資委直管的中央企業(yè)??傎Y產(chǎn)超過(guò)110億元,擁有包括4名兩院院士在內(nèi)的職工4,100余人??偛课挥诒本┦斜比h(huán)中路,在北京市昌平區(qū)-順義區(qū)-懷柔區(qū)、河北燕郊-廊坊-雄安、山東德州-青島-威海-樂(lè)陵、安徽合肥、福建廈門(mén)、上海、四川樂(lè)山、重慶...

1978年我國(guó)恢復(fù)研究生招生制度,我院即成立了研究生工作小組,開(kāi)始招收碩士研究生。1981年開(kāi)始招收博士研究生。1985年成立北京有色金屬研究總院研究生部。

現(xiàn)有兩個(gè)一級(jí)博士、碩士學(xué)位授權(quán)學(xué)科:材料科學(xué)與工程、冶金工程,另有分析化學(xué)、礦物加工工程兩個(gè)碩士學(xué)位授權(quán)點(diǎn),具有材料科學(xué)與工程、冶金工程兩個(gè)博士后科研流動(dòng)站,并與多家企業(yè)聯(lián)合建立博士后工作站。

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2019有研集團(tuán)科技成果展示——大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備

作者: 發(fā)布日期:2020-03-20
       2019年,有研集團(tuán)圍繞第十次黨代會(huì)提出的“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展”戰(zhàn)略,大力推進(jìn)創(chuàng)新體系能力提升,涌現(xiàn)出了一批在科技和產(chǎn)業(yè)方面做出突出貢獻(xiàn)的單位、團(tuán)隊(duì)和個(gè)人。我們從中選取了部分獲得國(guó)家級(jí)、省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)的科技成果作系列報(bào)道,這些獲獎(jiǎng)項(xiàng)目是集團(tuán)創(chuàng)新能力提升的“縮影”,也是對(duì)科研工作者的激勵(lì)和鼓舞,將激勵(lì)我們進(jìn)一步落實(shí)科技創(chuàng)新大會(huì)部署,全力推進(jìn)集團(tuán)高質(zhì)量發(fā)展。
       本期推出“2019有研集團(tuán)科技成果展示①——大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”報(bào)道。下面,讓我們從一張照片開(kāi)始說(shuō)起。
       上面這張照片拍攝于人民大會(huì)堂前,是有研半導(dǎo)體材料有限公司參與的“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”項(xiàng)目榮獲2019年國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)的珍貴紀(jì)念。該項(xiàng)目的完成填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)直徑300mm硅片超精密磨削技術(shù)和設(shè)備的空白,為硅片高精度、高質(zhì)量和高效率的工業(yè)化生產(chǎn)提供了技術(shù)支持。
關(guān)于硅片
       硅片又稱硅晶圓,是制作集成電路(IC)的重要材料。運(yùn)用注入、沉積、光刻等工藝在硅片上制成IC芯片,要求硅片具有超平整超光滑無(wú)損傷的表面。大尺寸硅片生產(chǎn)技術(shù)在硅單晶微缺陷控制、材料切割、磨削、拋光等加工過(guò)程的精度方面具有很高要求,要逾越很多技術(shù)壁壘才能達(dá)到后工序的要求。
其中,超精密磨削主要用于襯底硅片的平整化加工,大尺寸硅片磨削的規(guī)模化生產(chǎn)要求設(shè)備及工藝必須具有高穩(wěn)定性、高加工精度、高生產(chǎn)效率及高成品率等特點(diǎn)。目前國(guó)內(nèi)大尺寸硅片制造企業(yè)在技術(shù)研發(fā)和品質(zhì)控制方面還不能滿足IC制造廠商的需求,硅片表征參數(shù)的穩(wěn)定性與一致性和國(guó)外供應(yīng)商還存在一定差距,且加工設(shè)備還依賴于進(jìn)口。因此,掌握大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)及裝備,將為有研半導(dǎo)體未來(lái)的大硅片生產(chǎn)及應(yīng)用起到重要的推動(dòng)作用。
“中國(guó)芯”制造
       大硅片是集成電路(IC)制造領(lǐng)域的關(guān)鍵材料,也是保障國(guó)家信息安全的基礎(chǔ)材料,是有研集團(tuán)支柱產(chǎn)業(yè)之一。300mm大硅片在中國(guó)大陸尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn),但國(guó)內(nèi)的總需求量已超過(guò)50萬(wàn)片/月,隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,需求量還在不斷增長(zhǎng),大尺寸硅片的國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫。大尺寸硅片的超精密磨削是硅片制造的關(guān)鍵工藝之一,該技術(shù)和設(shè)備一直被國(guó)外壟斷,是制約“中國(guó)芯”制造的技術(shù)瓶頸之一。
       有研半導(dǎo)體材料有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)與大連理工大學(xué)等單位開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān),參與直徑300mm硅片超精密磨床的功能需求分析、方案設(shè)計(jì)、性能測(cè)試與應(yīng)用試驗(yàn);負(fù)責(zé)超精密磨床在首條國(guó)產(chǎn)直徑300mm硅材料成套加工設(shè)備示范線中的應(yīng)用驗(yàn)證和性能考核工作;負(fù)責(zé)超精密磨削工藝在生產(chǎn)線中的應(yīng)用以及300mm硅片磨削加工精度和質(zhì)量的分析;開(kāi)展直徑300mm硅片超精密磨削用系列砂輪的應(yīng)用驗(yàn)證工作,為系列砂輪的實(shí)際應(yīng)用積累了重要的數(shù)據(jù)參考。
        經(jīng)過(guò)多年的聯(lián)合攻關(guān),“大尺寸硅片超精密磨削工藝技術(shù)與設(shè)備”項(xiàng)目取得重大突破,成果整體達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。利用該成果制造的硅片已供應(yīng)于中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司等用戶,為“中國(guó)芯”制造提供了有力支撐!

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