12月13日，中國有色金屬學會揭曉2023年度“中國有色金屬十大進展”獲獎名單，中國有研所屬有研工研院“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發(fā)及其應用”項目成功入選。

“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發(fā)及其應用”項目聚焦我國集成電路材料關(guān)鍵裝備的“卡脖子”問題，開發(fā)出國內(nèi)首套滿足先進集成電路超高純金屬需求的電子束熔煉裝備，在大功率高效穩(wěn)定熱陰極電子槍、多槍大功率電子束能量控制、高質(zhì)量大規(guī)格鑄錠電子束熔煉裝備集成設(shè)計等核心技術(shù)領(lǐng)域取得突破，獲得授權(quán)專利40余項，具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。

該裝備達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進水平，并在國內(nèi)主要超高純金屬原材料生產(chǎn)單位投入使用，標志著高端電子束熔煉裝備實現(xiàn)全面國產(chǎn)化。應用該設(shè)備生產(chǎn)的超高純鉭、銅等材料已在先進集成電路領(lǐng)域獲得批量應用，保障了我國集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵原材料自主可控。

此次項目入選“中國有色金屬十大進展”，體現(xiàn)了行業(yè)對有研工研院科技創(chuàng)新實力與成果的認可，彰顯了有研工研院對推動行業(yè)共性技術(shù)提升、保障國家關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈安全的重要作用。有研工研院將繼續(xù)秉承“創(chuàng)業(yè)求實、創(chuàng)新致遠”的核心價值觀，扎實做好科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)培育，為發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，推動高質(zhì)量發(fā)展繼續(xù)貢獻更大的力量。